兩個(gè)物體表面相互接觸即會(huì)產(chǎn)生相互作用力，研究具有相對(duì)運(yùn)動(dòng)的相互作用表面間的摩擦、潤(rùn)滑與磨損及其三者之間關(guān)系即為摩擦學(xué)，目前摩擦學(xué)已涵蓋了化學(xué)機(jī)械拋光、生物摩擦、流體摩擦等多個(gè)細(xì)分研究方向，其研究的數(shù)值量級(jí)也涵蓋了亞納米到百微米的區(qū)間。摩擦本身是一種能量損耗現(xiàn)象，然而得到合理地利用也能產(chǎn)生巨大的正面效益，因此，準(zhǔn)確地測(cè)定磨損量并進(jìn)行精確的控制，是摩擦學(xué)研究中的一個(gè)重難點(diǎn)。

作為一家專(zhuān)業(yè)的微納3D形貌檢測(cè)儀器廠(chǎng)商，中圖儀器的SuperView系列光學(xué)3D表面輪廓儀已在國(guó)內(nèi)各知名高校從事化學(xué)機(jī)械拋光課題研究的教授群體中得到廣泛應(yīng)用，因樣件多為超光滑拋光表面，采用光學(xué)3D表面輪廓儀較為合適，其中較為關(guān)鍵的粗糙度Sa和Ra等參數(shù)，能夠確保0.1nm的精度。而針對(duì)磨損區(qū)域較大、坡度也較為陡峭的生物摩擦和流體摩擦領(lǐng)域，采用中圖VT6000系列共聚焦顯微鏡則更加匹配，其遠(yuǎn)勝于光學(xué)3D表面輪廓儀的大角度測(cè)量能力和超景深觀(guān)察功能，能夠輕松勝任磨損較為嚴(yán)重的表面形貌檢測(cè)，從而幫助研究人員更加精準(zhǔn)的掌握磨損量評(píng)價(jià)數(shù)據(jù)。

如下圖所示，為檢測(cè)生物摩擦課題中的樣件表面磨損區(qū)域的3D形貌圖像，其中心區(qū)域凹陷而在中心到上表面的邊緣處呈大坡度形態(tài)，因而在采用光學(xué)3D表面輪廓儀進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，會(huì)出現(xiàn)邊緣陡坡處3D圖像重建不完整、出現(xiàn)空白區(qū)域的問(wèn)題，而使用共聚焦顯微鏡，則能夠輕松獲取完整的形貌數(shù)據(jù)與3D圖像。

圖.磨損形貌

使用軟件的孔洞體積功能對(duì)圖像磨損區(qū)域進(jìn)行處理與分析，能夠獲取準(zhǔn)確的磨損區(qū)域深度、面積、體積等數(shù)值，從而對(duì)摩擦工藝參數(shù)與蝕坑形狀以及磨損量的相關(guān)性進(jìn)行定量研究，實(shí)現(xiàn)對(duì)摩擦磨損的有效利用。

而在流體摩擦課題中，更多的是對(duì)工藝處理后在樣件表面形成的條狀凹槽進(jìn)行輪廓分析，由于形成的凹槽較寬、深度也較大，這導(dǎo)致凹槽到兩側(cè)平面的坡面角度大、顏色黝黑、反射率低，也是一種較為適合使用共聚焦顯微來(lái)測(cè)量的形貌特征。如下圖所示，在完成測(cè)量后，通過(guò)提取一條過(guò)凹槽的剖面輪廓曲線(xiàn)并分析，就能夠獲得準(zhǔn)確的槽深寬度數(shù)據(jù)，進(jìn)一步定量地研究工藝參數(shù)與磨損量的關(guān)聯(lián)性。

圖.流體摩擦表面形貌的截面輪廓