在上海嘉定工業區，近5000平方米的高等級微納加工超凈廠房內，上海微技術工業研究院（以下簡稱“工研院”）與國際領先的晶圓廠密切合作構建的8英寸“超越摩爾”研發中試線上，正“跑”著數十片晶圓。

晶圓加工設備

9月10日，由工研院建設的8英寸“超越摩爾”研發中試線正式啟動，填補了我國微機電系統智能傳感器領域缺乏小批量中間性試驗生產線的空白。

8英寸研發中試線的啟動，不僅實現了從研發到量產的無縫銜接，更豐富完整了國內的“超越摩爾”生態鏈，是對標國際產業競爭的關鍵一環。

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中國科協副主席、中國科學院院士王曦解釋說，“超越摩爾”指的是不再只遵循摩爾定律，在半導體工藝尺寸上越做越小，而是在成熟的工藝生產線上，研發非數字、多元化半導體技術與產品。“超越摩爾”將不再局限于依靠尺寸改變去推進集成電路制程節點，更重視材料、工藝、結構等多維度的創新，從而實現傳感器等其他新興技術領域“換道超車”。

傳感器，位于整個物聯網的基礎層，是數據采集的入口，也是物聯網的基石。然而代工廠不愿接，小批量中試無處可做，成為我國傳感器等微機電系統研發機構的一大共性難題。8英寸研發中試線運營副總裁、廠長游家杰表示，當前我國約60%的傳感器都是靠進口，缺口很大，尤其是微機電系統智能傳感器，幾乎全部依賴進口。

目前，在“超越摩爾”領域，相比于業界普遍使用的6英寸產線，貫通從研發到量產全程服務的上海微技術工業研究院8英寸線是公認的領先技術。據相關人士透露，整個生產線建造投入近10億元，目前一期3000平方米已投入使用。

據悉，8英寸研發中試線將專注于“超越摩爾”傳感器產品技術的開發，可以全面開展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統的研發，并根據“超越摩爾”產品和技術特點部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關工藝和量測設備。作為國內第一條先進8英寸研發中試線，不僅可承擔產品研發、小批量生產、技術培訓、設備驗證等服務，有助于提升研發的成功率，更將助力實現 “超越摩爾”產品和技術從研發到量產的無縫銜接。

游家杰介紹，新建成的研發中試線，目前規定產能是每月生產3000片左右晶圓，后期將達到5000片。“我們可以支撐用戶從幾百片到上千片的產能需求，小規模訂單先在中試線上孵化，一旦前期市場測試成功，就可以把大批量訂單轉移給大型代工廠，開始規模量產。”