2023年1月,某超小型MEMS壓力傳感器芯片成功研制,器件技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平,為解決該項技術(shù)的“卡脖子”問題、實現(xiàn)產(chǎn)品自主可控邁出了堅實的一步。作為技術(shù)團(tuán)隊的負(fù)責(zé)人,57歲的北京大學(xué)集成電路學(xué)院教授級高級工程師高成臣倍感欣慰。他帶領(lǐng)團(tuán)隊克服了研制難度大、配套實驗?zāi)芰Σ蛔愕壤щy,最終不負(fù)所托,給用戶交出了令人滿意的答卷。高成臣躬耕傳感器制備和研究35年,不斷追求完美,突破了一項又一項技術(shù)難關(guān)。
