日本電子零組件廠從家電轉移到手機與汽車零組件后，積極投入微機電(MEMS)傳感器研發，推出各種超小型與高精度的傳感器，擴大傳感器的應用;隨物聯網(IoT)概念興起，傳感器在物聯網社會中將扮演更重要的角色。
北陸電氣工業(HDK)原本便生產多種傳感器，隨微機電傳感器在傳感器領域的重要性漸增，北陸電氣也轉而研發微機電技術，生產微機電傳感器，并將傳感器與基板等其他零組件、以及必須軟體，組成模組一起銷售，擴大相關事業。目前該社以超小型濕度傳感器為主力產品。
村田制作所(Murata)踏入微機電領域，始自2012年購并前芬蘭傳感器大廠VTI Technology、改名為Murata Electronics Oy，接下來開始生產各種運動與方位用途的微機電傳感器，用在汽車、醫療保健、電力、生化研究、IT等各種領域。
目前村田強調的微機電傳感器，是全球首款表面實裝型角加速度傳感器，長5.2毫米(mm)、寬2.5毫米、高0.8毫米，可望取代過去的螺絲端子型或圓筒型角加速度傳感器，讓運動感測系統的設計更為多元。
TDK、 Alps電氣(Alps Electric)與羅姆半導體(Rohm Semiconductor)的微機電傳感器則以壓力或濕度感測為主，可感測高度差200毫米等級的微小氣壓差，足以精確測量高度。這些廠同時積極與運動 傳感器廠合作，推出結合運動方位感測與氣壓感測的傳感器模組，供智能型手機或穿戴式裝置應用。
而Mitsumi電機(Mitsumi Electric)與日本航空電子工業(JAE)等二廠，目前正在積極開發微機電傳感器，用于汽車及基礎建設市場。
