1.“先易后難”：先解決比較容易的問題，再逐步處理比較棘手的故障。

儀器發生故障時，尤其是發生比較復雜的綜合性故障，對于解決這種故障應該先從比較容易解決的故障入手，如：檢修儀器的電路板，應先檢查電阻、電容、電感、二極管、三極管、保險絲、接插件、指示燈、開關等，在排除這些元件故障后，再檢查集成電路、大功率管、功率模塊、專用傳感器、微處理器IC、接口IC、存儲器IC等。

2.“先簡后繁”，先從簡單的器件或部位下手，再進入復雜繁瑣的電路或線路。

在維修電路時，根據儀器的電路原理，先從簡單的電路開始進行，如指示燈不亮、按鍵失靈或接觸不良、電壓電流表無指示或指示異常、電源插頭插座松動、保險絲是否熔斷、開關接觸是否可靠等。在此基礎上進一步維修復雜的而繁瑣主電路或線路，如變壓器、繼電器、接觸器、電磁閥、壓力傳感器、過壓（限壓）保護開關、流量傳感器等主控電路或線路。

3.“先軟后硬”，先檢查軟件程序運行是否正常，再分析硬件運行是否有問題。

隨著科學技術水平的發展，電腦在光譜儀中應用，使儀器的檢測水平大幅度的提高，功能更趨近于智能化，許多故障都是通過電腦自帶的故障診斷程序，進行綜合全面的檢測，如當儀器顯示真空不良、溫度異常、壓力異常、無積分信號、通訊中斷等顯示時，我們必須是在此基礎之上，順藤摸瓜沿電腦指示的異常信息，去檢查所對應的硬件，這樣可以很快的找到故障的根源，縮短維修時間，提高工作效率。

4.“先外后內”， 先檢查儀器外圍設施，再檢查儀器本身。

儀器突然整機停電不工作了，首先檢查儀器的外圍情況，如冷卻水是否中斷，水泵或水閘閥是否異常，燃氣或輔助氣氣壓是否偏低或過高，電磁閥是否失電或斷路，電氣開關或空氣開關是否跳閘，各外部接插件是否脫落等。然后再尋找儀器本身內部的問題。

5.“先輔后主”，先解決儀器輔助設備問題，再解決儀器主機問題。