圖9差分電路后輸出波形

5.3測試數據

測試數據，如表1所示不同值的5次測量結果。

對于100 pA，測量平均值：

=100.156 pA，測量誤差為0.16%，測量重復性s=0.24 pA；

對于10 pA，測量平均值：

=9.993 pA，測量誤差為- 0.07%，測量重復性s=0.04 pA.

測量準確度、重復性達到預期目的，符合0.5級要求。

6結論

隨著電子測量技術的進一步發展，pA級別的電流測量在眾多領域具有極其重要的地位，微電流測量極易受到環境條件和測量儀器自身噪聲的影響。依據提出的測量方法設計的測量儀器經高、低溫、電磁干擾等試驗，對于10 pA電流，儀器準確度可達0.5級，具有較高的準確度和較好的測量重復性、穩定性。試驗數據表明，去除工頻干擾和直流誤差的影響是減小微電流測量誤差的主要因素。