六、智能家居

傳感器是智能家居控制系統實現控制的基礎，隨著技術的發展，越來越多的傳感器被用到智能家居系統中。

智能家居傳感器是家居中的“眼鼻耳”，因為智能家居首先離不開對居住環境“人性化”的數據采集，也就是說把家居環境中的各種物理量、化學量、生物量轉化為可測量的電信號裝置與元件。

智能家居領域需要使用傳感器來測量、分析與控制系統設置，家中使用的智能設備涉及位置傳感器、接近傳感器、液位傳感器、流量和速度控制、環境監測、安防感應等傳感器等技術。

 七、智能汽車/自動駕駛

車聯網是物聯網發展的重大領域，智能汽車是車聯網的核心，正處于高速發展中。在智能汽車時代，主動安全技術成為備受關注的新興領域，需要改進現有的主動安全系統，比如側翻（rollover）與穩定性控制（ESC），這就需要MEMS加速度傳感器和角速度傳感器來感測車身姿態。語音將成為人與智能汽車的重要交互方式，MEMS麥克風將迎來發展新機遇。

MEMS傳感器在汽車領域還有很多應用，包括安全氣囊（應用于正面防撞氣囊的高g值加速度計和用于側面氣囊的壓力傳感器）、汽車發動機（應用于檢測進氣量的進氣歧管絕對壓力傳感器和流量傳感器）等。

而自動駕駛技術的興起，也進一步推動了MEMS傳感器進入汽車。雖然GPS接收器可以計算自身位置和速度，但在GPS信號較差的地方（地下車庫、隧道）和信號受到干擾的時候，汽車的導航會受到影響，這對自動駕駛來說是致命的缺陷。利用MEMS陀螺儀和加速度計獲取速度和位置（角速度和角位置），車輛任何細微的動作和傾斜姿態，都被轉化為數字信號，通過總線，傳遞給行車電腦。即便在最快的車速狀態下，MEMS的精度和反應速度也能夠適應。得益于硅體微加工、晶片鍵合等技術的發展，精度已經上升到0.01。

八、智慧工業

智能工廠利用物聯網技術加強信息管理和服務，掌握產銷流程、提高生產過程的可控性、減少生產線上人工的干預、及時正確地采集生產線數據，以合理的安排生產計劃與生產進度，并優化供應鏈。在工業生產領域，傳感器應用非常廣泛，工業生產各個環節都需要傳感器進行監測，并把數據反饋給控制中心，以便對出現異常節點進行及時干預，保證工業生產正常進行。業界普遍認為，新一代的智能傳感器是智能工業的“心臟”，它讓產品生產流程持續運行，并讓工作人員遠離生產線和設備，保證人身安全和健康。

MEMS讓傳感器小型化、智能化，MEMS傳感器將在智慧工業時代大有可為。MEMS溫度、濕度傳感器可用于環境條件的檢測，MEMS加速度計可以用來監測工業設備的振動和旋轉速度。高精度的MEMS加速度計和陀螺儀可以為工業機器人的導航和轉動提供精確的位置信息。