☆ 微機械加工技術(shù)及微機電儀表集成技術(shù)。

4.3 航天儀器儀表的產(chǎn)業(yè)化

自“七五”以來,國內(nèi)儀表研究包括航天儀器儀表取得許多創(chuàng)新性研究成果。在2020年儀器儀表發(fā)展規(guī)劃中,應該對于產(chǎn)業(yè)化給予足夠的重視。

4.3.1 航天測控儀表的產(chǎn)業(yè)化,

☆ 磁致伸縮液位及位移測量系統(tǒng)和濺射薄膜壓力測控儀表;

☆ 航天MEMS測控儀表,如壓力、加速度計等。

4.3.2 航天慣性儀表的產(chǎn)業(yè)化

☆ 小型化、高可靠光纖、激光陀螺儀;

☆ 小型化、高精度石英、硅加速度計;

☆ 微機電慣性儀表等

5. 分段實施的步驟和方案

5.1 航天測控儀表

5.1.1 2005年

開展新型航天MEMS測控儀表微型結(jié)構(gòu)先進加工技術(shù)的研究,航天特殊參數(shù)測量技術(shù)研究,以及測控儀表智能化、數(shù)字化技術(shù)的研究。完成磁致伸縮液位測量系統(tǒng)和濺射薄膜壓力測控儀表產(chǎn)業(yè)化工程的建設,形成年產(chǎn)10萬只磁致伸縮液位及位移傳感器、5萬只濺射薄膜壓力測控儀表的能力。同時開展MEMS測控儀表產(chǎn)業(yè)化的基礎工作。

5.1.2 2010年

完全成熟航天MEMS測控儀表技術(shù),實現(xiàn)航天測控儀表智能化、數(shù)字化,實現(xiàn)更新?lián)Q代,并應用于信息化武器裝備。MEMS測控儀表實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。完全實現(xiàn)磁致伸縮液位測量系統(tǒng)和濺射薄膜壓力測控儀表的產(chǎn)業(yè)化,替代進口產(chǎn)品,形成國內(nèi)大型研發(fā)、設計、生產(chǎn)、試驗基地。

5.1.3 2020年

建成以航天高科技為主導的測控儀表產(chǎn)業(yè)化發(fā)展基地。隨著新型航天飛行器的開發(fā)研制,航天測控儀表將開展深空深測、微型控制執(zhí)行機構(gòu)、智能網(wǎng)絡測量系統(tǒng)、三維敏感系統(tǒng)等新應用領(lǐng)域的研究工作。

5.2 航天慣性儀器儀表

軍民兩用慣性儀器儀表發(fā)展實施步驟建議:

產(chǎn)業(yè)化產(chǎn)品 應用領(lǐng)域 2005年前后 2010年前后 2020年前后

車載導航定位、定向儀 各種軍用、民用車輛 采用光學陀螺、石英加速度計組成年產(chǎn)**套以上 采用微固態(tài)的慣性儀表組成（低成本）

年產(chǎn)**套左右 采用MEMS技術(shù)、集成一體化（微功耗、小體積）

年產(chǎn)**套左右

地下、水下定位定向儀 鉆井、隧道工程，水下救撈、測量及建設工程 采用小型高可靠撓性陀螺、石英加速度計年產(chǎn)**套以上 采用光學陀螺、硅加速度計年產(chǎn)**套左右

陀螺指北儀 軍用、民用測量及建設工程 采用機械螺 采用光學蛇螺