考核指標：中心頻率≥0.5THz，調制時間≤10μs@90GHz，成像景深≥50cm，成像時間≤5s@50cm×50cm，穿透深度≥10cm@碳纖維材料，成像分辨率≤0.3mm×0.3mm×1.5mm;平均故障間隔時間≥4000小時。[pagebreak]

2.13 差分高能電子衍射儀

研究目標：針對薄膜、異質結、超晶格人工結構制備工藝過程中的測試需求，突破寬氣壓高能衍射電子槍和衍射電子氣體散射干擾抑制等關鍵技術，開發具有自主知識產權、質量穩定可靠、核心部件國產化的差分高能電子衍射儀，開發相關軟件和數據庫，實現寬氣壓范圍晶體取向和原子位置等原位實時測試。開展工程化開發、應用示范和產業化應用。

考核指標：能量范圍15keV~35keV，束流50μA~100μA，束斑直徑50μm~80μm，紋波系數0.05%，束流穩定度系數0.15%/℃，工作氣壓范圍1×10-8Pa-100Pa，一次實驗采集圖像≥50幅，自動焦距調整響應時間≤5秒，觀測強度震蕩≥50個周期;平均故障間隔時間≥3000小時。

2.14 固態量子材料自旋信息測量儀

研究目標：針對量子計算、量子傳感器件所用核心關鍵材料量子自旋信息測量及表征需求，突破量子探針制備、量子自旋態空間形貌表征、自旋態時空信息解耦等關鍵技術，開發具有自主知識產權、質量穩定可靠、核心部件國產化的固態量子材料自旋信息測量儀，開發相關軟件和數據庫，實現室溫環境下固態量子材料自旋信息的高精度測量。開展工程化開發、應用示范和產業化推廣。