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領邦儀器:太陽能硅片自動分檢系統解決方案


  來源: 儀器儀表商情網 時間:2015-07-29 作者:
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    【基本原理】
          系統整體采用非接觸測量方式,通過在流水線中設置五個工位,分別實現硅片各個參數的檢測。其中,電阻率、厚度、TTVP/N型號、Bow/Warp采用電渦流法和電容法實現非接觸自動檢測;輪廓尺寸采用機器視覺技術實現;隱裂、孔洞缺陷通過紅外視覺技術實現;表面臟污缺陷通過機器視覺技術并輔以特殊設計光源實現;線痕缺陷通過光針掃描技術實現。

      【規格指標】
           (1)能夠適應三種規格單晶硅片檢測需求,包括6吋(邊長125mm×125mm,對角線150mm)、6.5吋(邊長125mm×125mm,對角線165mm)、8吋(邊長156mm×156mm,對角線200mm);

           (2)能夠檢測硅片各種缺陷,包括電阻率、厚度、TTV、P/N、線痕、幾何尺寸、臟污、孔洞、隱裂、BOW/WARP;

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