(3)檢測效率:3000片/小時;
(4)進料機構采用物料籃(花籃)自動進料,物料籃必須與設備配套使用,人工將物料籃安裝到設備進料口,安裝過程應簡單快捷;
(5)合格標準可設定,以適應區分不同的質量級別;
(6)具備硅片分選功能。一個分選模塊有6個分選工位,各工位的分選標準可以自定義,既可以將每個分選工位設置成一種缺陷的幾個等級(等級劃分由客戶自定義,但不可超過6級),也可以將每個分選工位設置成幾種不同的缺陷(最多設置6種缺陷)。客戶可設置缺陷種類的優先級,若硅片上具有兩種或多種缺陷時按照客戶定義的優先級進行分選;如果認為6個分選工位不能滿足使用要求,則可以購買多臺分選模塊;
(7)上、下料及檢測過程中防止硅片碰傷與損壞,碎片率要求<0.1%;可以進行數據存儲、統計、分析、查詢及圖表繪制等。配備網絡接口,可以進行測量設備現場聯網統一控制管理。測量結果能夠打印輸出;
(8)設備具備安全防護功能,實現自動保護。配備急停裝置,發生緊急情況時可立即停止設備,防止意外傷害;
(9)采用模塊化設計,便于維護和維修。
(4)進料機構采用物料籃(花籃)自動進料,物料籃必須與設備配套使用,人工將物料籃安裝到設備進料口,安裝過程應簡單快捷;
(5)合格標準可設定,以適應區分不同的質量級別;
(6)具備硅片分選功能。一個分選模塊有6個分選工位,各工位的分選標準可以自定義,既可以將每個分選工位設置成一種缺陷的幾個等級(等級劃分由客戶自定義,但不可超過6級),也可以將每個分選工位設置成幾種不同的缺陷(最多設置6種缺陷)。客戶可設置缺陷種類的優先級,若硅片上具有兩種或多種缺陷時按照客戶定義的優先級進行分選;如果認為6個分選工位不能滿足使用要求,則可以購買多臺分選模塊;
(7)上、下料及檢測過程中防止硅片碰傷與損壞,碎片率要求<0.1%;可以進行數據存儲、統計、分析、查詢及圖表繪制等。配備網絡接口,可以進行測量設備現場聯網統一控制管理。測量結果能夠打印輸出;
(8)設備具備安全防護功能,實現自動保護。配備急停裝置,發生緊急情況時可立即停止設備,防止意外傷害;
(9)采用模塊化設計,便于維護和維修。
【解決方案價值對照表】
【應用擴展】
此解決方案經適量修改,也可適用于太陽能電池板、多晶硅、單晶硅檢測等。