近日，中國科學院沈陽自動化研究所在工業零件測量領域取得新進展，提出了一種適用于工業零件表面反射率變化較大情況的光學低相干測量方法，實現了對鏡面、類鏡面、漫反射面等多種反射特性的工業零件關鍵參數的高精度測量。該研究成果于近期在線發表在國際儀器測量領域期刊IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT。

適用于工業零件表面反射率變化較大情況的光學低相干測量方法示意圖

工業零件尺寸和關鍵參數的高精度測量是保證制造精度和裝配可靠性的關鍵。低相干測量方法是一種利用光學干涉現象的測量方法，具有精度高、測量范圍大、無損等優點，在工業測量領域顯示出巨大的應用潛力。然而，目前工業上的低相干性測量方法大多假設零件表面反射率恒定或變異性很小，導致這些方法適應性差，適用范圍有限。

沈陽自動化所工藝裝備與智能機器人研究室科研團隊提出了一種針對表面反射率變化較大的零件關鍵參數測量的工業光學低相干測量方法。團隊建立了一個工業低相干模型，從理論上證明了其適應表面反射率變化較大的零件測量的可行性；基于提出的測量模型，設計了光路，搭建了工業低相干系統，通過實驗驗證了所提方法的有效性。實驗結果表明，該方法適用于包括漫反射、鏡面反射和類鏡面反射條件下的工業零件測量。

該研究成果得到了國家自然科學基金的支持。